半導体・MEMSのための超臨界流体
- 著者:近藤 英一,上野 和良,内田 寛,曽根 正人,生津 英夫,服部 毅,堀照 夫,森口 誠
- 出版社:コロナ社
- 装丁:単行本(ソフトカバー)(240ページ)
- 発売日:2012-09-06
- ISBN-10:4339008370
- ISBN-13:978-4339008371
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