ポストシリコン半導体―ナノ成膜ダイナミクスと基板・界面効果
- 著者：財満鎮明 名古屋大学教授／佐藤勝昭 科学技術振興機構・東京農工大学 名誉教授／押山淳 東京大学 教授／室田淳一 東北大学名誉教授／櫻庭政夫 東北大学准教授,奥村元 産業技術総合研究所／北畠真 パナソニ
- 出版社：エヌ・ティー・エス
- 装丁：単行本（0ページ）
- 発売日：2013-06-01
- ISBN-10：4864690596
- ISBN-13：978-4864690591
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