リソグラフィ技術 その40年
- 著者：岡崎 信次,田中 初幸,花畑 誠,鴨志田 洋一,野崎 耕司,渡邊 健夫,関口 淳,Chris A. Mack,上野 巧
- 出版社：S&T出版
- 装丁：単行本（143ページ）
- 発売日：2016-12-09
- ISBN-10：4907002637
- ISBN-13：978-4907002633
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